[发明专利]抛光装置有效
| 申请号： | 202010162293.9 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111251167B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 江伟;尹影;徐俊成;庞浩 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/20 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张艳清 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及抛光技术领域，具体涉及一种抛光装置，包括：支架内设有容纳腔；吸附装置设在容纳腔内，适于吸附待抛光产品；若干组彼此并排设置的滚刷结构设于吸附装置的上方，并可转动地连接在支架上，适于对吸附装置上的待抛光产品进行抛光；第一驱动装置固定连接在支架上，适于驱动滚刷结构相对支架转动。通过在支架内部设置容纳腔，吸附装置设于容纳腔内，且在吸附装置的上方设置若干组彼此并排设置的滚刷结构，滚刷结构相对设于待抛光产品进行转动，对待抛光产品进行摩擦抛光，与现有技术中的抛光装置相比，无需设置结构较复杂的承载头，而是直接将待抛光产品吸附在吸附装置上，上方设置转动的滚刷结构对待抛光产品进行摩擦抛光，结构较简单。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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