[发明专利]一种纳米纤维素基高分辨率光刻胶用成膜树脂的制备方法在审
| 申请号： | 202010160572.1 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111363051A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 张勇;胡辉冯;张秀梅;姚菊明 | 申请（专利权）人： | 浙江理工大学 |
| 主分类号： | C08B15/06 | 分类号： | C08B15/06;G03F7/004 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 沈锡明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米纤维素基高分辨率光刻胶用成膜树脂的制备方法。该方法主要基于化学接枝改性，通过在纳米纤维素羟基上接枝保护基团，达到制备高分辨率光刻胶用成膜树脂的目的。本发明涉及工艺成本低、原料来源广，通过控制纳米纤维素、二碳酸二叔丁酯和四甲氨基吡啶比例，在一定反应温度和时间下即可制备高分辨率光刻胶用成膜树脂产品。本发明的技术方案为制备高分辨率光刻胶用成膜树脂提供了一条新途径，对光刻胶和芯片制造业具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 纤维素 高分辨率 光刻 胶用成膜 树脂 制备 方法 | ||
【主权项】：
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