[发明专利]一种用于涂胶显影设备的废液收集系统在审
| 申请号： | 202010158378.X | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111208715A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 钟敏 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙) 31364 | 代理人： | 朱明福 |
| 地址： | 200000 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于涂胶显影设备的废液收集系统，包括：废液收集箱、储液柜；废液收集箱顶部设有第一进液口，废液收集箱下部设有第一出液口，废液收集箱外壁上设有第一液位计；储液柜内固定连接水平隔板，水平隔板将储液柜分隔为第一隔层、第二隔层；第二隔层内设有储液箱，储液箱外壁上设有第二液位计；储液箱的下部设有第二出液口，第二出液口处设有阀门；储液箱顶部设有第二进液口，第二进液口通过第一管道连通有气动泵，气动泵通过第二管道与第一出液口连通；第一隔层内设有控制装置，控制装置分别与第一液位计、第二液位计、气动泵电连接，控制装置还电连接有液位警报装置。本发明能够及时提示工作人员对废液进行处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 涂胶 显影 设备 废液 收集 系统 | ||
【主权项】：
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