[发明专利]一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备在审
申请号: | 202010154370.6 | 申请日: | 2020-03-07 |
公开(公告)号: | CN111218719A | 公开(公告)日: | 2020-06-02 |
发明(设计)人: | 姚仿英 | 申请(专利权)人: | 姚仿英 |
主分类号: | C30B30/04 | 分类号: | C30B30/04;C30B29/06;C30B15/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314511 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种智能化稳定热场单晶硅提纯设备,具体涉及智能加工领域,包括外壳,外壳的底部固定安装有底部轴杆,外壳顶部的一侧固定安装有进料管,底部轴杆的顶部固定安装有位于外壳内腔的导温容器,所述导温容器的外部套装有加热器,导温容器的内部填充有石英沙层,所述石英沙层顶面的中部放置有石英坩埚。本发明当外壳内部处于加热状态时,磁力组件对于耐高温磁性金属形成一个磁场固定耐高温磁性金属不发生晃动,从而使得石英坩锅和石英坩埚固定,保证了石英坩埚内部的多晶液稳定提纯,同时磁力组件产生的磁力处于倾斜状态可以分解出一个向下的力从而对石英坩锅进行二次固定,极大的保证了单晶硅提纯的稳定,增加了单晶硅提纯的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 智能化 稳定 单晶硅 提纯 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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