[发明专利]一种高性能湿度检测器件用恒温结构及制备方法在审
| 申请号： | 202010144515.4 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111239208A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张昱昕 | 申请（专利权）人： | 中国电建集团贵阳勘测设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人： | 韩炜 |
| 地址： | 550000 贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高性能湿度检测器件用恒温结构及制备方法。包括顶层Al |
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| 搜索关键词： | 一种 性能 湿度 检测 器件 恒温 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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