[发明专利]一种气悬浮运输装置在审
| 申请号： | 202010143992.9 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111170013A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 尉世卓 | 申请（专利权）人： | 上海睿范自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G54/00 | 分类号： | B65G54/00 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种气悬浮运输装置，涉及运输装置领域，包括载板，载板顶面等间距设置出气机构，载板内部设向出气机构供气的供气管路；出气机构包括凹盘，凹盘被侧挡板分为相同构造的两侧，侧挡板顶端水平固定有压气板，在侧挡板两侧的压气板底面均设有导气槽，导气槽顶面为一半圆平面、侧面为向外倾斜的平直面；供气管路包括第一进气口、第二进气口，第一进气口通过第一总管连通第一支管，第一支管均分布于侧挡板同一侧的凹盘下方；第二进气口通过第二总管连通第二支管，第二支管均分布于侧挡板另一侧的凹盘下方；第一支管、第二支管分别通过通气管向上排气，通气管分别正对着相应一侧的导气槽。本申请提供一种气悬浮运输装置，能实现硅片等气悬浮的传输效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬浮 运输 装置 | ||
【主权项】：
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