[发明专利]影像复合检测系统在审
| 申请号： | 202010143512.9 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111665246A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 黄继震;黄祈欣;谢宏宗;黄胜茂 | 申请（专利权）人： | 汉民科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N23/2206;G01N23/2251;G01N23/2252;G01N23/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 中国台湾台北市大*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种影像复合检测系统，整合一电子显微装置和若干支援倍率相同或不同的光学显微装置，待测物在真空舱体中接受电子显微装置的检测，并且在大气环境中接受设置于一光学检测区内的该多个光学显微装置的检测以建立该待测物的光学全景影像和光学局部影像，通过电子显微装置和该多个光学显微装置的结合，有效地扩大影像辨识的倍率。 | ||
| 搜索关键词： | 影像 复合 检测 系统 | ||
【主权项】：
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