[发明专利]基于压电单元的三维力感知阵列传感器及压力解算方法在审
| 申请号： | 202010143111.3 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111157151A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 徐晋勇;莫鞠忠;覃国贺 | 申请（专利权）人： | 桂林智工科技有限责任公司;桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/08 |
| 代理公司： | 桂林文必达专利代理事务所(特殊普通合伙) 45134 | 代理人： | 白洪 |
| 地址： | 541004 广西壮族自治区*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于压电单元的三维力感知阵列传感器及压力解算方法，基于压电单元的三维力感知阵列传感器包括多个传感单元，传感单元包括硅基底、电极、导电层、压电纤维柱和绝缘层。电极的数量为四个且电极与硅基底连接，并位于硅基底的一侧，导电层位于电极远离硅基底的一侧，且连接负极，压电纤维柱的数量为四个，四个压电纤维柱与电极和导电层电连接，并垂直于电极和导电层之间，且位于靠近导电层边缘的一侧，绝缘层与导电层连接，并位于导电层远离四个压电纤维柱的一侧，多个传感单元沿以导电层中心点为原点建立的直角坐标系的X轴和Y轴阵列排列。实现对大面积三维力空间高分辨率、高精度的三维感知、结构简单、灵敏度高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 压电 单元 三维 感知 阵列 传感器 压力 方法 | ||
【主权项】：
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