[发明专利]一种高功率耐受性温补型声表面波滤波器结构及制备方法在审
| 申请号： | 202010139489.6 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111277241A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 陆增天;傅肃磊;王为标;沈君尧;苏荣宣;潘峰 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/08 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高功率耐受性温补型声表面波滤波器结构及制备方法，涉及信息电子材料技术领域，该结构由下至上依次包括压电衬底、复合电极层、温度补偿层和导热层；复合电极层由下至上依次包括第一电极打底层、第一电极主体层、第二电极打底层、第二电极主体层和电极抗氧化层，本申请的复合电极层拥有较好的抗应力迁移和低电阻的性能，提升了TCSAW滤波器的功率耐受性能，使TCSAW滤波器具有较小的插入损耗、矩形系数更佳、品质因数更高，复合电极层经过退火处理能有效减少电极中的晶体缺陷，提高复合电极层的导电率，本申请公开的制作方法容易实现，易于大规模推广，对于提高TCSAW滤波器的功率耐受性具有重大的实践意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 耐受 性温补型声 表面波 滤波器 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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