[发明专利]通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法及其玻璃在审
| 申请号： | 202010138971.8 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111253076A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 朴钟先;余赐贤;张永强;阳利民;沈于乔;李银姬 | 申请（专利权）人： | 拓米（成都）应用技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 管高峰 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了通过旋转单面蚀刻制造高精度超薄玻璃的方法及其玻璃，所述方法包括：A、将厚玻璃坯料切割并进行表面预处理得到预定尺寸的玻璃基板；B、将表面预处理后的玻璃基板进行表面预蚀刻，再进行蚀刻预保护得到预蚀刻玻璃；C、将所述预蚀刻玻璃进行旋转条件下的单面蚀刻，冲洗后再脱除蚀刻预保护得到减薄玻璃；D、将所述减薄玻璃进行后处理，得到高精度超薄玻璃。所述玻璃采用上述方法制备得到。本发明提供预先切割厚玻璃并进行蚀刻减薄的方法来减少不良率，在单面蚀刻时采用在蚀刻设备的内部旋转玻璃的方式进行，这将避免因溶液的流动和喷淋区域的压力偏差所造成的厚度偏差以及表面品质低下的问题，最终达到厚度均匀、表面品质佳的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 旋转 单面 蚀刻 制造 高精度 超薄 玻璃 方法 及其 | ||
【主权项】：
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