[发明专利]表面分析装置有效
| 申请号： | 202010134192.0 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN111796122B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 藤野敬太 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00;G01Q30/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面分析装置。驱动机构(45)以测量部(20)与试样台(30)的相对位置关系在第1位置关系与第2位置关系之间切换的方式使测量部(20)和试样台(30)相对性地位移。在第2位置关系时，试样台(30)自下部壳体的内部暴露于外侧。控制装置(201)包含生成向扫描器(32)供给的高电压的高电压生成电路(203)。在第2位置关系时，第1机械式开关(253)不使电源(202)的电压向高电压生成电路(203)供给。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 分析 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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