[发明专利]石英谐振子超精密加工方法及装置有效
| 申请号： | 202010112328.8 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111300160B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;廖龙兴;刘杰;谢文祥 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B19/22;B24B41/06;B24B41/04;B24B37/11;B24B37/34;B24D7/18;B24B55/00;B24B57/00;B24B41/02;B24B49/12 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;隋秀文 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于机械加工技术领域，尤其涉及一种石英谐振子超精密加工方法及装置。首先采用普通成型方法加工出石英谐振子的外表面，然后使用专用砂轮进行粗磨、半精磨、化学机械抛光，结合先进的在线测量技术，对抛光后的表面进行检测，对超出允差范围的点位进行修抛至满足要求；采用专用夹具固定加工好的外表面，再对谐振子内表面进行成型磨削化学机械抛光及检测加工。本发明的专用夹具与砂轮的特点为中空伞状，砂轮磨削部分与被加工面形状一致，加工过程设防护装置及抛光液回收装置，可保证加工过程绿色环保，此外，本发明提供的加工方法和装置，具有加工效率高，加工同轴度好，加工表面损伤层低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 谐振子 精密 加工 方法 装置 | ||
【主权项】：
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