[发明专利]一种用于无尘化真空过程的慢充慢抽装置及方法有效
| 申请号： | 202010105686.6 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN110925180B | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 赵烨梁;胡晓;张少辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海高等研究院 |
| 主分类号： | F04B49/22 | 分类号： | F04B49/22;F04B39/16;F04B49/06 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201210 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于无尘化真空过程的慢充慢抽装置，其抽气管路部包括依次串联的机械泵、复合阀、分子泵和角阀，以及与角阀并联且依次串联的针阀、质量流量控制器、针阀；充气管路部包括串联的氮气罐、截止阀、质量流量控制器、扩散器和角阀；所述测试部包括串联的微粒计数器和角阀，角阀与超导腔串联；复合阀包括气体入口、气体出口、以及连接于气体入口和气体出口之间且彼此并联的第一电磁阀、第二电磁阀和带小孔薄膜。本发明的慢充慢抽装置采用了质量流量控制器来控制气路中的气体流速，能够实现阶跃式缓慢开启及关闭气路，并且在抽气管路部中安装有特殊设计的复合阀，能够减少装置内的气压突变，从而能够避免外界微尘进入超导腔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 无尘化 真空 过程 慢充慢抽 装置 方法 | ||
【主权项】：
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