[发明专利]聚焦离子束杂质鉴定有效
| 申请号： | 202010100620.8 | 申请日： | 2020-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN111579890B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | J.格雷厄姆;L.克拉尔 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01R29/24 | 分类号： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 聚焦离子束杂质鉴定。具有带电粒子束(CPB)透镜和离子束柱的双束系统可以在分析模式下运行。在所述分析模式下，来自所述离子束柱的离子束可以由CPB偏转为包含主离子束和一个或多个非主离子束的一个或多个分量束。所述双束系统可以鉴定所述非主离子束的离子种类。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 离子束 杂质 鉴定 | ||
【主权项】：
暂无信息
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