[发明专利]一种高硬度表面多尺度功能微结构制备方法与装置

摘要

本发明公开了一种高硬度表面多尺度功能微结构制备方法与装置。研制高效、便捷的多尺度功能微结构制备方法与装置十分必要。本发明方法：制成单点金刚石刀具和多刃金刚石刀具；然后，在待加工工件的待加工表面压印出中心倒圆台凹坑微结构阵列或V形沟槽微结构阵列；最后，在中心倒圆台凹坑微结构阵列或V形沟槽微结构阵列上制备微米或亚微米级功能微结构。本发明装置包括四自由度定位机构、夹具、激振器、单点金刚石刀具和多刃金刚石刀具。本发明在高硬度表面加工了多尺度功能微结构，能提高高硬度表面的硬度、强度、耐磨性和精度，对高硬度加工行业的发展有着十分重要的意义。