[发明专利]双面纳米银线薄膜激光刻蚀装置及其方法在审
| 申请号： | 202010095869.4 | 申请日： | 2020-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111230317A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;张广庚 | 申请（专利权）人： | 苏州德龙激光股份有限公司;江阴德力激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及双面纳米银线薄膜激光刻蚀装置及方法，飞秒紫外激光器的输出光路上依次布置反射镜、二维振镜、场镜，二维振镜安装在可上下移动的Z轴运动机构上；双面覆有纳米银线涂层的触控薄膜材料，中间层为基材，两面覆有相同的纳米银线涂层，其中一面为A面，另一面为B面，激光光束按照设计图形加工A面；A面正对激光出光口，飞秒紫外激光器输出激光束，脉宽10～1000fs，按照设计路径扫描刻蚀A面的纳米银线涂层，扫描加工瞬间刻蚀去除纳米银线，A面形成预先设计的电阻网络；A面加工完成，对A面覆膜保护；翻面，激光光束按照设计图形加工B面，B面形成预先设计的电阻网络。避免激光蚀刻过程中激光能量穿透膜的一面将另一面击伤。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 纳米 薄膜 激光 刻蚀 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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