[发明专利]一种石墨烯生物传感器电极的制备工艺有效
申请号: | 202010094221.5 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN111007129B | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 李冠华;颜丹;董青龙;李强华 | 申请(专利权)人: | 深圳市刷新智能电子有限公司 |
主分类号: | G01N27/327 | 分类号: | G01N27/327 |
代理公司: | 深圳倚智知识产权代理事务所(普通合伙) 44632 | 代理人: | 姬长平 |
地址: | 518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种石墨烯生物传感器电极的制备工艺,包括:A.在陶瓷材料制作的绝缘基体上制作第一导电孔和第一焊盘,第一导电孔上下贯穿绝缘基体,第一焊盘位于第一导电孔的底部;B.抛光第一导电孔的上部及周侧,与基体表面相平,表面粗糙度不超过0.8μm;或通过控制工艺来实现导电孔和绝缘基体的平滑过渡;C.在第一导电孔的周侧通过陶瓷浆料制作第一陶瓷围栏;D.在第一导电孔上制备直立石墨烯,形成第一直立石墨烯电极;制备方法包括局部生长,或,整个表面生长后激光刻蚀掉不需要的部分;E.在第一陶瓷围栏内,第一直立石墨烯电极的三维表面设置第一生物反应膜层。灵敏度高,能够适应小型化的设计需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 生物 传感器 电极 制备 工艺 | ||
【主权项】:
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