[发明专利]一种石墨烯生物传感器电极的制备工艺有效
| 申请号： | 202010094221.5 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111007129B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 李冠华;颜丹;董青龙;李强华 | 申请（专利权）人： | 深圳市刷新智能电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/327 | 分类号： | G01N27/327 |
| 代理公司： | 深圳倚智知识产权代理事务所(普通合伙) 44632 | 代理人： | 姬长平 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种石墨烯生物传感器电极的制备工艺，包括：A.在陶瓷材料制作的绝缘基体上制作第一导电孔和第一焊盘，第一导电孔上下贯穿绝缘基体，第一焊盘位于第一导电孔的底部；B.抛光第一导电孔的上部及周侧，与基体表面相平，表面粗糙度不超过0.8μm；或通过控制工艺来实现导电孔和绝缘基体的平滑过渡；C.在第一导电孔的周侧通过陶瓷浆料制作第一陶瓷围栏；D.在第一导电孔上制备直立石墨烯，形成第一直立石墨烯电极；制备方法包括局部生长，或，整个表面生长后激光刻蚀掉不需要的部分；E.在第一陶瓷围栏内，第一直立石墨烯电极的三维表面设置第一生物反应膜层。灵敏度高，能够适应小型化的设计需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 生物 传感器 电极 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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