[发明专利]一种微电子产品跌落损伤实时监测装置及方法

摘要

本发明涉及X射线检测技术，具体涉及一种微电子产品跌落损伤实时监测装置及方法，该装置包括电子产品样品，包括冲击实验机和高速X射线成像系统；冲击实验机包括电磁释放器、测速装置、缓冲装置、基座、夹具、两条导轨和冲击板；X射线成像系统包括X射线发生装置、图像增强器、CCD相机、图像采集装置和数据分析装置；X射线发生装置正对电子产品样品；图像增强器与X射线发生装置处于同一直线；CCD相机依次连接图像采集装置、数据分析装置。该装置采用高速X射线技术实时监测经跌落冲击后电子产品失效点的分布，能够及时发现不合格的失效产品，也为产品零部件材料的选择，外形设计方面提供可靠的参考，从而提高产品合格率，降低生产成本。