[发明专利]位置检测方法和装置、控制和制造方法、机器人装置、光学设备在审
申请号: | 202010080941.6 | 申请日: | 2020-02-05 |
公开(公告)号: | CN111537006A | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
发明(设计)人: | 堀口春彦 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G01D5/26 | 分类号: | G01D5/26 |
代理公司: | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人: | 迟军;高华丽 |
地址: | 日本东京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供位置检测方法和装置、控制和制造方法、机器人装置、光学设备。所述位置检测方法包括:获得反复地改变第一循环数的第一信号的第一相位值、反复地改变比所述第一循环数大的第二循环数的第二信号的第二相位值、以及反复地改变比所述第二循环数大的第三循环数的第三信号的第三相位值;从所述第二循环数的循环中选择与所述第一相位值对应的一个循环;选择与所述第二相位值对应的一个循环以及从所述第二循环数的循环中所选择的循环;获得与从所述第二循环数的循环中所选择的循环的第二相位值对应的所述第三信号的第四相位值;以及通过使用所述第三相位值和所述第四相位值获得所述标尺的位置。 | ||
搜索关键词: | 位置 检测 方法 装置 控制 制造 机器人 光学 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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