[发明专利]激光加工装置及激光加工方法在审
| 申请号： | 202010076526.3 | 申请日： | 2020-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN113146053A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 冯黎;王诗男 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/082;B23K26/03;B23K26/70;B23K101/40 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种在基板上形成微细结构的激光加工装置和加工方法，该激光加工装置包括：激光器，其发出激光；载物台，其承载基板；光学系统，其将所述激光器发出的激光导引到所述基板，从而向所述基板照射复数个光束；图形生成系统，其形成微细结构的加工图形；以及控制系统，其根据所述加工图形控制所述激光器、所述载物台以及所述光学系统。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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