[发明专利]一种薄膜压电声波滤波器及其制造方法有效
| 申请号： | 202010075557.7 | 申请日： | 2020-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN112039489B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜压电声波滤波器及其制造方法，其中薄膜压电声波滤波器包括：第一基板；置于第一基板上的多个声波谐振器单元；每一声波谐振器单元包括压电感应片体、用于对压电感应片体施加电压的且彼此相对的第一电极、第二电极；位于第一基板上的盖帽层，盖帽层具有多个子盖帽，子盖帽包围声波谐振器单元，以在声波谐振器单元与子盖帽之间形成第一空腔，相邻子盖帽之间设有隔离部分，以隔离相邻的第一空腔。本发明在声波谐振器单元上方形成独立的第一空腔，相对于多个声波谐振器单元共用一个大的空腔，第一空腔的体积大大缩小，盖帽层需要的结构强度降低，可以防止大空腔导致的盖帽层塌陷的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压电 声波 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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