[发明专利]浓度控制装置、零点调整方法以及程序存储介质在审
| 申请号： | 202010059308.9 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111488003A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 志水彻;南雅和 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G05D11/13 | 分类号： | G05D11/13 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 杨敏;金玉兰 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于提供一种能够在不中断半导体制造工艺的情况下适当地实施浓度检测机构的调零的浓度控制装置，浓度控制装置具备：控制阀，其控制在导出流路中流动的气体；浓度检测机构，其对在该导出流路中流动的气体中所含的材料气体的浓度进行检测；浓度控制器，其以使由上述浓度检测机构检测出的检测浓度与预先设定的设定浓度之间的偏差变小的方式控制上述控制阀；基准时刻判定部，其对存在于通过上述浓度检测机构进行浓度检测的检测部的气体已被替换为其他气体的时刻即基准时刻进行判定；以及调零部，其在基准时刻以后进行上述浓度检测机构的调零。 | ||
| 搜索关键词： | 浓度 控制 装置 零点 调整 方法 以及 程序 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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