[发明专利]一种辅助集成电路近场扫描仪精准定位的装置与方法有效
| 申请号： | 202010050533.6 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111077437B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 吴建飞;张红丽;郑亦菲;李雅菲;李宏;吴健煜;王宏义;郑黎明;刘培国 | 申请（专利权）人： | 天津市滨海新区军民融合创新研究院;中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R29/08 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 徐志宏 |
| 地址： | 300450 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路检测技术领域，公开一种辅助集成电路近场扫描仪精准定位的装置与方法，以提高定位的精度和操作的便利性。本发明装置包括位于被测集成电路正上方的探头、对所述探头进行位移调度的计算机及配套的三维移动平台，以及还包括三棱镜和显微镜；所述三棱镜为等腰直角三棱镜，斜面为反射镜面、且底面与被测集成电路位于同一水平面；所述显微镜位于被测试集成电路的正上方，用于观察探头与原点的位置关系，通过移动X轴和Y轴，使得探头与原点在XY平面投影重合，以对探头在X、Y轴进行精准定位，以及还用于接收所述三棱镜的反射光以观测、调整、定位并放大所述探头与被测集成电路之间的垂直距离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辅助 集成电路 近场 扫描仪 精准 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
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