[发明专利]微孔闭合检测方法及装置有效
| 申请号： | 202010050286.X | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111288949B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陈堃 | 申请（专利权）人： | 美高怡生生物技术（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/14 | 分类号： | G01B21/14 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 安卫静 |
| 地址： | 101100 北京市通州区中关村科技园区通州园*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微孔闭合检测方法及装置，涉及微孔检测领域。方法包括：通过压力传感器读取系统的第一空腔压力值并计算第一空腔压力值与真空泵的预先设定的恒压阈值的第一差值；根据第一空腔压力值和电机运行步数的拟合关系，获取对应拟合曲线；根据对应拟合曲线获取第一差值对应的电机运行步数差值；按电机运行步数差值运行电机，并通过压力传感器读取系统的第二空腔压力值；计算第一空腔压力值和第二空腔压力值间的第二差值；根据第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态。本发明实施例的微孔闭合检测方法及装置通过根据第二差值和微孔孔径的线性拟合关系检测微孔闭合状态，从而达到了在微孔变化的情况下保证检测精度的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 微孔 闭合 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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