[发明专利]一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器折射率传感器

摘要

本发明公开了一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器，包括两条直线信道波导和五个跑道型微环谐振器。每个所述跑道型微环谐振器均包括一个上直道段和一个下直道段，其中第一个跑道型微环谐振器位于两条直线信道波导之间，上下直道段分别与两条直线信道波导耦合；另外四个跑道型微环谐振器的上直道段均与下方直线信道波导耦合，下直道段不经过耦合区域。本发明使用时，输入的光由上方直线信道波导耦合入第一个跑道型微环谐振器，而后耦合出至下方直线信道波导，再经由四个跑道型微环谐振器，最终在输出端形成尖锐且低背景噪声的单一谐振峰，实现高灵敏度，高品质因子，低误差的液体折射率检测功能。