[发明专利]一种真空玻璃真空度及应变在线检测系统

摘要

一种真空玻璃真空度及应变在线检测系统，属于无损检测技术领域，由悬挂导轨、半导体激光器、反射镜片、上层玻璃、玻璃密封条、真空层、支撑台、下层玻璃、光敏装置、检波放大器、光电转换装置、数据分析器、显示器、凸透镜片、CCD元件和信号处理器连接组成，本发明可以通过真空层与外界环境之间的压力差对上、下层玻璃造成的下凹变形，利用激光光束进出真空玻璃的折射光线夹角大小判断真空玻璃真空度值的大小，利用两束平行激光光束入射真空玻璃，其反射光被凸透镜片收集并投射到CCD元件上，信号处理器通过三角函数计算阵列CCD元件上的光点位置，获得上、下层玻璃现有距离，从而可以准确计算出真空玻璃应变值的大小。