[发明专利]一种晶圆多工位边缘抛光设备

摘要

本发明公开了一种晶圆多工位边缘抛光设备，其结构包括固定杆、抛光系统、液压缸、机体，机体顶端面设有两个抛光系统，抛光系统正上方设有液压缸，液压缸和抛光系统机械连接，机体最顶端设有固定杆，抛光系统包含进风口、主杆、折叠筒、固定盘、操作平台，操作平台固定在机体正上方，操作平台正上方设有固定盘，本发明通过液压缸、主杆和固定盘之间的相互配合，利用液压缸下压后对晶圆进行固定，避免晶圆在固定时发生相对滑动，本发明通过固定盘和进风口等相互配合，利用抽气的方式，对晶圆实现吸附，并且采用吸气内环和吸气外环对晶圆的内部和外部同时进行吸取吸附，保证晶圆吸附受力均匀不会从中间开始断裂成两半。