[发明专利]三维量测装置与其操作方法有效
申请号: | 202010022455.9 | 申请日: | 2020-01-09 |
公开(公告)号: | CN112525078B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 卓嘉弘;张柏毅;顾逸霞;庄凯评;刘志祥;杨富程 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/24 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种三维量测装置与其操作方法,三维量测装置包括移动装置、投影装置、面型取像装置与处理装置。移动装置承载物体,并将物体移动至多个位置。投影装置产生第一光至物体。面型取像装置于每一位置上,感测物体因应于第一光而产生的第二光,以产生相位影像。处理装置耦接面型取像装置,接收相位影像,并将相位影像进行感兴趣区域处理,以产生多个感兴趣区域影像,且将感兴趣区域影像透过多步相位移法处理,以计算物体的表面高度分布。 | ||
搜索关键词: | 三维 装置 与其 操作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院,未经财团法人工业技术研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010022455.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体装置
- 下一篇:储存器件及其控制方法