[发明专利]一种降低静电式微镜角度检测传感器耦合干扰的方法有效
| 申请号： | 202010021785.6 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111348618B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李欢欢;白民宇;马力;彭磊;郭迪;王丛华 | 申请（专利权）人： | 西安知象光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 西安渭之蓝知识产权代理有限公司 61282 | 代理人： | 刘振 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区丈八街*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 为了提高等效耦合电路的阻抗，显著降低驱动信号对检测信号的耦合干扰，本发明提供一种降低静电式微镜角度检测传感器耦合干扰的方法，具体是在采用高电阻率半导体材料制作微镜过程中，将微镜的驱动梳齿和检测梳齿以及这些梳齿和焊盘之间的引线区域进行元素掺杂，然后再刻蚀微镜结构，最终得到能够降低角度检测传感器耦合干扰的微镜。本发明方法可以使得静电式微镜中驱动信号对角度检测信号的耦合干扰显著降低，提高了检测信号的信噪比，降低了处理电路的复杂程度。与此同时本发明方法不需要改变微镜结构，在同等结构和相近工艺难度基础上大幅度提高微镜控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 降低 静电 式微 角度 检测 传感器 耦合 干扰 方法 | ||
【主权项】：
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