[发明专利]考虑力传感器变形的原位压痕测试装置与方法在审
| 申请号： | 202010020479.0 | 申请日： | 2020-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN111060415A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 黄虎;李轩;王馗沣;杨智鑫;孙午向;徐智 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42;G01N3/06 |
| 代理公司： | 长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙) 22212 | 代理人： | 李荣武 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种考虑力传感器变形的原位压痕测试装置与方法，测试装置包括z轴精密定位单元、压痕力加载及检测单元、压入深度检测单元、两自由度粘滑式压电精密定位平台。压痕力加载及检测单元安装在z轴精密定位单元上，压入深度检测单元安装在压痕力加载及检测单元上，两自由度粘滑式压电精密定位平台安装在z轴精密定位单元上。优点在于：装置考虑了力传感器的变形，通过力传感器和电容式位移传感器的合理布置方式，从结构上避免了由于力传感器变形带来的测量误差，可以得到更精确的压痕深度值，提高了测试精度。装置结构紧凑、尺寸小，具有大范围高精度的二自由度定位能力，可以方便地安装在扫描电子显微镜内对材料进行原位压痕测试。 | ||
| 搜索关键词： | 考虑 传感器 变形 原位 压痕 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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