[发明专利]压电薄膜、压电薄膜元件、压电致动器和压电传感器有效
| 申请号： | 202010016953.2 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN111435699B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 森下纯平 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H10N30/85 | 分类号： | H10N30/85;H10N30/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;王磊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压电薄膜(3)是包含金属氧化物的压电薄膜(3)，其中，金属氧化物含有铋、钾、钛、铁和元素M，元素M为镁和镍中的至少一种，至少一部分金属氧化物为具有钙钛矿结构的晶体，晶体的(001)面、(110)面或(111)面在压电薄膜(3)的表面的法线方向(dn)上进行取向。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 元件 致动器 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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