[发明专利]一种电子级气体的吸附脱水剂及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010016921.2 申请日: 2020-01-08
公开(公告)号: CN113083223B 公开(公告)日: 2022-08-19
发明(设计)人: 刘家旭;陆安慧;陈绍云;贺宁;郭洪臣 申请(专利权)人: 大连理工大学
主分类号: B01J20/18 分类号: B01J20/18;B01D53/26;B01J20/30;C01B39/38;C01B39/24;C01B39/26;C01B39/02
代理公司: 大连格智知识产权代理有限公司 21238 代理人: 刘琦
地址: 116024 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明提供一种电子级气体的吸附脱水剂及其制备方法,吸附脱水剂,包括离子改性纳米沸石分子筛,以重量份数计,所述离子改性纳米沸石分子筛包括以下组分:1‑10份金属阳离子,90‑99份纳米沸石分子筛载体。所述离子改性纳米沸石分子筛为离子交换改性纳米沸石分子筛或浸渍改性纳米沸石分子筛。当被用于制备电子级高纯HBr或HF气体时,HBr或HF粗气体经气化后进入气固吸附床与吸附脱水剂连续接触脱除水。经吸附处理后的HBr或HF气体中H2O含量由30ppm降低至1ppm。本发明吸附脱水剂吸附效率高、吸附容量大、稳定性好、再生性好、适合大规模工业连续生产;本吸附脱水剂无毒、对环境友好、无二次污染。
搜索关键词: 一种 电子 气体 吸附 脱水 及其 制备 方法
【主权项】:
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