[发明专利]一种三氯氢硅生产用废气处理装置及方法在审

专利信息
申请号: 202010008964.6 申请日: 2020-01-06
公开(公告)号: CN111167292A 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 孟国均;蔡前进;张戈;李红彬 申请(专利权)人: 河南硅烷科技发展股份有限公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/68;B01D29/01;C02F9/10;C02F11/122;C02F103/18;C02F101/12
代理公司: 许昌豫创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41140 代理人: 李海帆
地址: 461700 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明涉及一种三氯氢硅生产用废气处理装置及方法,其包括淋洗塔,淋洗塔侧端设有进气管,上端设有出气口,下端设置有出水管,通过出水管连接刮沫池,淋洗塔的内部设有多个喷淋装置,刮沫池的侧端设有清液池,下端设置有污泥管,刮沫池和清液池之间设有滤网,清液池内设有清液管,清液管通过进液管与喷淋装置连通,清液管上设有增压泵,污泥管通过污泥泵与污泥槽连接,污泥槽内设有搅拌装置,下端连接有板框压滤机,板框压滤机的液相出口经过滤器与集水槽连接,集水槽的下端设有管a和管b,其中管a通过加压泵a与清液池连接,管b通过加压泵b与三效蒸发系统连接;本发明具有结构合理、使用效果好且可对水资源进行循环利用的优点。
搜索关键词: 一种 三氯氢硅 生产 废气 处理 装置 方法
【主权项】:
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