[发明专利]固定装置及使用该固定装置的空心柱状器件测试设备有效
| 申请号： | 202010003342.4 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111156883B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 党景涛;左宁;甄万财;高慧莹 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G01B5/252 | 分类号： | G01B5/252 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 李青 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体器件检测设备技术领域，尤其是涉及一种固定装置及使用该固定装置的空心柱状器件测试设备。固定装置用于固定空心柱状器件，固定装置包括卡盘和放置板，卡盘的活动卡爪的数量为多个；放置板与卡盘固定连接，放置板用于放置空心柱状器件，放置板设置有多个沿卡盘的径向延伸的导向孔，导向孔的位置与活动卡爪的位置一一对应，活动卡爪能够在导向孔中往复运动，且活动卡爪能够与空心柱状器件的内表面抵接。本发明能够对空心柱状器件进行固定和测试。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 装置 使用 空心 柱状 器件 测试 设备 | ||
【主权项】：
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