[发明专利]使用光纤将光输送到真空腔室中在审
| 申请号： | 201980091237.6 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN113396348A | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | E·泽尔陈;D·佩蒂伯恩;O·G·佛罗伦度;陈立民;M·布鲁特沙赫 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/38 | 分类号： | G02B6/38 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供使用光纤达成激光增强电压对比度的系统。所述系统包含具有对晶片进行紧固的载台的真空腔室。所述真空腔室外部的激光光源将光引导到光纤。所述光纤将来自所述激光光源的所有波长的光穿过所述真空腔室的壁传输到所述真空腔室中。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 光纤 输送 空腔 | ||
【主权项】：
暂无信息
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