[发明专利]弹性引导装置、定位装置、叶片和光刻设备在审
| 申请号： | 201980088808.0 | 申请日： | 2019-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN113302558A | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | E·A·B·米尔德;K·F·布斯特雷恩;A·F·J·德格鲁特;R·库尔斯塔;P·P·A·A·布罗姆 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B23Q1/36;F16C11/12;F16C29/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于沿支撑方向相对于基部支撑质量体的弹性引导装置，其中沿支撑方向的刚度相比于沿其它方向的刚度明显增加，例如沿竖直方向的刚度相比于沿水平方向的刚度明显增加。本发明还涉及包括至少一个弹性引导装置的定位装置，和包括这样的定位装置的光刻设备。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 引导 装置 定位 叶片 光刻 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980088808.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于确定移动设备在表面上方的高度的系统和方法
- 下一篇：电力变换装置
