[发明专利]传感器装置和用于制造传感器装置的方法在审
| 申请号： | 201980085000.7 | 申请日： | 2019-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN113226979A | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | H·阿尔特曼;J·赖因穆特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提出一种传感器装置(1)，所述传感器装置包括至少一个衬底(2)；边缘区域(RB，RS)，所述边缘区域布置在所述衬底(2)上并且在横向上限界所述衬底(2)上方的内部区域(IB)；膜片(7)，所述膜片锚定在所述边缘结构(RS)上并且至少部分地跨越所述内部区域(IB)，其中，所述膜片(7)在所述内部区域(IB)中包括至少一个由于压力(p)而可运动的区域(BB)，所述可运动的区域封闭所述膜片(7)与所述衬底(2)之间的腔(K)；第一中间载体(ZT1)，所述至少一个第一中间载体在所述膜片(7)下方在所述可运动的区域(BB)中延伸，并且与所述膜片(7)连接，并且具有至少一个沟槽(G)。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 装置 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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