[发明专利]用于计量的方法和装置在审
| 申请号： | 201980084489.6 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN113196176A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | P·W·斯莫雷恩伯格;S·I·莫萨瓦特;T·J·科南 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01N23/20008;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于将作为高次谐波产生(HHG)的结果发射的辐射束引导到衬底上的方法和装置。驱动辐射源向包含用于HHG产生的介质的相互作用区域提供驱动辐射。由HHG产生的辐射可包括多个软X射线(SXR)波长。不同的HHG产生的波长具有不同的发散角。该装置还包括光学系统，由于不同的发散角，该光学系统将不同的HHG波长聚焦到不同的焦平面。该装置还包括用于保持衬底的衬底支撑件。驱动辐射源、相互作用区域、光学系统和衬底支撑件中的一个或多个可以控制衬底相对于HHG辐射的多个焦平面的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 计量 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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