[发明专利]减排方法和装置在审
| 申请号： | 201980082585.7 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN113167470A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | S·M·兰佩特 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 任霄;王玮 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开一种减排装置和方法。所述减排装置用于处理来自半导体加工工具的流出物流，并且包括：第一减排设备，所述第一减排设备被构造成接收所述流出物流并且可操作成按活动模式运行以处理所述流出物流；第二减排设备，所述第二减排设备可操作成按空闲模式运行；以及控制逻辑，所述控制逻辑可操作成在接收到与所述第一减排设备相关联的警报状况的指示时按所述活动模式运行所述第二减排设备。以此方式，提供处理所述流出物流的第一或主要减排设备，并且在所述第一减排设备发生故障的情况下提供第二或备用减排设备。然而，通过仅在所述第一减排设备发生故障时才致使所述第二减排设备按所述活动模式操作，可以实现显著的能量节省。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【主权项】：
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