[发明专利]用于制造超导LC型谐振器的方法和由此获得的超导谐振器有效

专利信息
申请号: 201980081874.5 申请日: 2019-12-04
公开(公告)号: CN113498564B 公开(公告)日: 2022-12-16
发明(设计)人: 法齐·布萨哈;萨米尔·贝尔迪;克莉丝汀·肖蒙;蒂博·瓦斯莱 申请(专利权)人: 法国国家科学研究中心;巴黎观象台;CY塞尔吉-巴黎大学;索邦大学;巴黎赛特大学
主分类号: H01P7/08 分类号: H01P7/08;H01P11/00;H03H5/00;H01G4/33;H01G13/06
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 罗小晨;谢攀
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于制造包括至少一个高电阻率衬底(1)类型的超导LC型谐振器的方法,所述至少一个高电阻率上印刷有电感线圈(3)、称为下部的第一电极(41)和称为上部的第二电极(40),该第二电极与第一电极相对布置以形成与电感线圈(3)并联连接的电容器(4),以及专用于所述谐振器的电感耦合装置(2),其中牺牲铝层沉积在所述第一和第二电极之间。本发明还涉及由此获得的超导LC型谐振器以及涉及这种谐振器用于检测毫米光子噪声的用途。
搜索关键词: 用于 制造 超导 lc 谐振器 方法 由此 获得
【主权项】:
暂无信息
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