[发明专利]用于聚苯乙烯-b-聚(甲基丙烯酸甲酯)二嵌段共聚物的接触孔自组装的快速可交联中性底层及其配制剂有效
| 申请号： | 201980080346.8 | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN113490696B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | D·巴斯卡兰;M·S·拉赫曼;V·蒙雷亚尔 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/14 | 分类号： | C08F220/14;C09D133/12 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 姜煌 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种包含结构(I)、(II)、(III)、及(IV)的重复单元的无规共聚物。本发明还涉及一种由所述无规共聚物构成的中性层组合物且还涉及使所述中性层组合物在基板上制得交联中性层膜的用途，其可使得能够自组装上覆于所述交联中性层的嵌段共聚物的膜，其中所述嵌段共聚物含有抗蚀刻及可蚀刻嵌段，且经由蚀刻使用所述嵌段共聚物的自组装图案以在所述基板中产生接触孔或柱阵列。 |
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| 搜索关键词： | 用于 聚苯乙烯 甲基丙烯酸 二嵌段 共聚物 接触 组装 快速 交联 中性 底层 及其 配制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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