[发明专利]形成多个光栅的方法有效
| 申请号： | 201980080151.3 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN113168021B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 摩根·埃文斯;约瑟夫·C·奥尔森;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G02B27/44 | 分类号： | G02B27/44;G02B6/122;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请的实施方式大致关于用于形成多个光栅的方法。该方法大致包括在设置于基板上的波导组合器的一个或多个保护的区域上沉积材料，该材料具有当离子束引导朝向基板时抑制设置于波导组合器上的光栅材料移除的厚度；及将离子束引导朝向基板。本文所公开的方法允许在一个或多个未受保护的区域中形成多个光栅，同时在保护的区域中不会形成光栅。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 光栅 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980080151.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
