[发明专利]用于基于可制造性确定图案形成装置图案的方法

摘要

本文描述了一种用于确定图案形成装置图案的方法。所述方法包括：获得(i)具有至少一个特征的初始图案形成装置图案，以及(ii)所述至少一个特征的期望特征尺寸；基于图案化过程模型、所述初始图案化设备图案形成装置图案和针对衬底的目标图案，获得由所述初始图案形成装置得到的所述衬底图像的预测图案与针对所述衬底的所述目标图案之间的差异值；确定与所述至少一个特征的所述可制造性相关的惩罚值，其中所述惩罚值根据所述至少一个特征的所述尺寸变化；以及基于所述初始图案形成装置图案和所述期望特征尺寸来确定所述图案形成装置图案，使得所述差异值和所述惩罚值的总和被减小。