[发明专利]气动系统、压印装置及其用途在审
| 申请号： | 201980075230.5 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN113015939A | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | M·A·维尔斯储雷恩 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 孟杰雄 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种压印基板(180)的方法，包括：将承载压印图案(106)的柔性印模(104)固定到包括孔(112)的阵列的第一载体(102)，所述孔通过气体压力将所述柔性印模拉向第一载体或将其推开；将其推到第二载体(170)，第二载体(170)承载具有抗蚀剂层(182)的基板(180)，留下间隙(190)，以创建在柔性印模与基板之间的可控的接触区，和在第一载体与柔性印模之间的空间(196)；逐渐将柔性印模的区域推入抗蚀剂层中以对其进行压印；显影抗蚀剂层；并且通过连续的孔施加抽吸逐渐释放柔性印模，同时控制气体通过尚未被抽吸的孔向空间(196)的向内流动，以便此处将空间(196)保持高于环境但低于预定最大压力。 | ||
| 搜索关键词： | 气动 系统 压印 装置 及其 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
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