[发明专利]压电振动器件在审
申请号: | 201980069848.0 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN113228505A | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 石野悟;古城琢也 | 申请(专利权)人: | 株式会社大真空 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03B5/32;H03H9/19 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 陈伟;刘伟志 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 在晶体振荡器(101)中,晶体振动片(2)、将晶体振动片(2)的第一激励电极覆盖的第一密封构件(3)、及将晶体振动片(2)的第二激励电极覆盖的第二密封构件(4)通过接合图案层相接合,形成有将包含第一激励电极和第二激励电极的晶体振动片(2)的振动部(22)气密密封的内部空间。接合图案层包括,形成为俯视时将振动部(22)包围的环形而将内部空间气密密封的密封用图案层(例如振动侧第一接合图案(251))、及用于实现布线及电极的导通的导电用图案层(例如连接用接合图案(253)),导电用图案层被配置在周围被所述密封用图案层包围的闭空间内。密封用图案层在晶体振荡器(101)动作时获得接地电位。 | ||
搜索关键词: | 压电 振动 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社大真空,未经株式会社大真空许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201980069848.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:线圈齿模块及其制备方法
- 下一篇:超高动态范围CMOS传感器