[发明专利]用于辐射传感器的辐射滤光片在审
| 申请号： | 201980069319.0 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN112867971A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | V·穆罕默迪;Y·乔杜里;P·C·德赫罗特;W·J·恩格伦;M·J·P·T·范德霍恩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B5/22;H01L27/146 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种用于减少有害波长的辐射的透射的辐射滤光片。辐射滤光片包括锆和SiN |
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| 搜索关键词： | 用于 辐射 传感器 滤光 | ||
【主权项】：
暂无信息
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