[发明专利]用于自动映射基板上的流动对象的方法和系统有效
申请号: | 201980068775.3 | 申请日: | 2019-09-26 |
公开(公告)号: | CN112912783B | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 马修·C·普特曼;约翰·B·普特曼;约翰·克鲁克尚克;朱莉·奥兰多;阿黛尔·弗兰克尔;布兰登·斯科特 | 申请(专利权)人: | 纳米电子成像有限公司 |
主分类号: | G02B21/36 | 分类号: | G02B21/36;G02B21/00;G06V20/69;G06V10/25;G06T7/73 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 韩雪梅 |
地址: | 美国俄亥俄州*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种使用显微镜检查系统来映射基板上的流动对象的方法和系统,该显微镜检查系统包括光源、成像设备、台以及控制模块,该台用于移动设置在台上的基板。一种计算机分析系统,包括对象识别模块,该对象识别模块使用包括人工智能与图像处理算法的算法、网络、机器和系统针对基板上的对象中的每个识别基板上的对象位置,该基板上的对象位置包括一组X、Y和θ坐标。对象中的至少一个是流动的,并且已经从先前位置移位或从先前尺寸变形。 | ||
搜索关键词: | 用于 自动 映射 基板上 流动 对象 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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