[发明专利]衬底支撑件、光刻设备、衬底检查设备、器件制造方法在审
| 申请号： | 201980055297.2 | 申请日： | 2019-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN112602021A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | J·P·M·B·弗穆伦;L·L·A·M·姆伦迪卡斯;A·F·J·德格罗特;J·A·C·M·皮南伯格 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于支撑衬底(W)的衬底支撑件(1)，支撑件包括具有用于支撑所述衬底的支撑表面(11)的支撑主体(WT)和被配置成引起衬底与支撑主体的支撑表面之间的绕垂直于支撑表面的旋转轴线的相对旋转抖动运动的旋转抖动装置(50)。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 支撑 光刻 设备 检查 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980055297.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
