[发明专利]形成离子传感器的方法在审
| 申请号： | 201980054471.1 | 申请日： | 2019-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN112585459A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | P.瓦戈纳;J.欧文斯;S.帕克 | 申请（专利权）人： | 生命技术公司 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;H01L21/00;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于制造传感器的方法包含：蚀刻安置于衬底上方的绝缘层以限定暴露安置于所述衬底上的传感器的传感器表面的开口，从而在所述传感器表面上形成自然氧化物；在含氢气氛中对所述传感器表面进行退火，以及在不大于400℃的温度下在氧气气氛中对所述传感器表面进行退火。此外，可以在传感器表面的顶部形成保形导电层，从绝缘层的顶表面上去除所述保形导电层的部分，从而形成杯形电极，可以在含氢气氛中对所述杯形电极的所述顶表面进行退火，以及在不大于400℃的温度下在氧气气氛中对所述杯形电极的所述顶表面进行退火。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 离子 传感器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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