[发明专利]上提拉开放式单晶炉在审
申请号: | 201980051052.2 | 申请日: | 2019-08-21 |
公开(公告)号: | CN112513344A | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 王宇;官伟明;梁振兴 | 申请(专利权)人: | 眉山博雅新材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/16 |
代理公司: | 成都七星天知识产权代理有限公司 51253 | 代理人: | 杨永梅 |
地址: | 620010 四川省眉*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本申请公开了上提拉开放式单晶炉。所述晶体生长装置包括炉膛;所述炉膛包括炉体和炉盖;所述炉盖设置于所述炉体顶部;所述炉盖设置第一通孔;其中,所述第一通孔用于放置温场。本申请的晶体生长装置解决了传统真空炉要抽高真空再充保护气体的麻烦,也提高了设备的安全性;简化了炉体结构,各部分需要维护维修的结构都可以快速拆装,减少制造及维护成本;提高设备运行精度及稳定性;解决开放式炉膛由于热量对流对称重信号稳定性的影响等。 | ||
搜索关键词: | 上提拉 开放式 单晶炉 | ||
【主权项】:
暂无信息
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